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郑科探KT-Z1605CVD 金属金银铜铬镍靶材蒸镀仪器
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郑科探KT-Z1605CVD 金属金银铜铬镍靶材蒸镀仪器

KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小,功能齐全。配备有电压电流反馈,样口台旋转样高度可调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率蒸发功率,可对大部分金属进地均匀蒸发沉积。

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  • 地   址:
    河南 郑州 中原区 郑州高新技术开发区西三环283号大学科技园
产品特性:实验室设备品牌:郑科探规格:台
类型:镀膜机型号:KT-Z1650CVD

KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小,功能齐全。配备有电压电流反馈,样口台旋转样高度可调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率蒸发功率,可对大部分金属进地均匀蒸发沉积。真空腔体为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜




电阻式热蒸发镀膜机 电阻式热蒸发镀膜机是郑州科探仪器设备有限公司生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面


小型蒸镀仪 郑州科探KT-Z1650CVD,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史**久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。



技术规格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋转:8转/分钟;
- 热蒸发源:电阻式热蒸发舟,交流电源;
- 腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
- 泵:前级干泵,分子泵;
- Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配);
- 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存;
- 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;
- 衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;

-        衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;

-        保护样品:配有样品挡板,可手动或自动开/关挡板,达到及时遮挡样品效果;






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